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环保压力大,MEMS也可以“绿色可持续”制造?

| 2019-07-28 阅读 80

据麦姆斯咨询介绍,从智能手机中的健身计步功能,到我们汽车中的防滑控制和导航功能,我们在日常生活中正使用着数十、上百种MEMS微型器件。这些MEMS器件正以无数种方式改善我们的生活,但为我们带来便利的同时也对环境造成了巨大伤害。

MEMS生产技术或微机械加工技术,最初是为了制造硅集成电路而开发的。这项技术彻底革新了电路的微型化,使功能强大的计算机从半个世纪前的房子大小,缩小到我们今天能够放进口袋里的智能手机。

硅基MEMS制造工艺成本高,能源密集(需要高温,并使用危险化学品,如氢氟酸等)。到2020年,硅基MEMS市场规模预计将增长到200亿美元。这些增长大部分来自对射频MEMS和生物医疗传感器的需求推动。

对于这个快速增长的市场,人们对硅基MEMS的成本和潜在环境影响提出了担忧。

但是,如果MEMS微加工能够变得经济、节能、环保,并利用可再生资源甚至废料,那该多好!据麦姆斯咨询报道,Auburn University(美国奥本大学)的化学工程师在这一方向取得了进展。

奥本大学研究人员在Applied Materials&Interfaces上发表的最新文章(“Microelectromechanical Systems from Aligned Cellulose Nanocrystal Films”),介绍了从废弃生物质中提取的纳米微晶纤维素(Cellulose Nanocrystal, CNC)如何用于生产具有与硅器件类似特性的功能性MEMS器件。

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